Partie formée des contacts et des interconnexions locales reliant les transistors (FEOL) aux interconnexions multicouches (BEOL). Sa résistance augmente avec la miniaturisation et limite les performances.
Nom japonais: MOL(ミドル・オブ・ライン)
« MOL (middle-of-line) » apparaît dans 32 questions d'entraînement réparties sur 13 thèmes, dont Salles blanches et équipements, Lithographie, Implantation ionique.
Domaine: Procédés d'interconnexion
Réponse : A. Bruit thermomécanique (bruit brownien)
À température finie, la masse oscille en permanence de façon aléatoire, notamment sous les collisions des molécules de gaz environnantes. Ce bruit thermomécanique (bruit brownien), converti en accélération, s’exprime par √(4kTω₀/(mQ)) ; il est d’autant plus grand que la masse est légère et que l’amortissement est fort (Q faible). La miniaturisation est donc défavorable ; dans les capteurs de haute précision, on alourdit (agrandit) la masse et on augmente Q par scellement sous vide pour réduire le bruit.
Réponse : B. Filtre chimique (filtre à charbon actif ou à échangeur d'ions)
Les filtres ULPA et HEPA captent les particules, mais les molécules gazeuses les traversent. Le filtre chimique utilise du charbon actif, des médias imprégnés de réactifs réagissant avec les acides ou les bases, des résines échangeuses d'ions, etc., pour adsorber ou faire réagir les molécules et les éliminer. Son type est choisi selon la substance à éliminer, et sa capacité d'adsorption étant limitée, il est remplacé périodiquement. Il équipe les prises d'air extérieur et les équipements critiques comme les équipements d'exposition.
À température finie, la masse oscille en permanence de façon aléatoire, notamment sous les collisions des molécules de gaz environnantes.
Dans les accéléromètres et gyroscopes MEMS de très petite t…Les filtres ULPA et HEPA captent les particules, mais les molécules gazeuses les traversent.
Quel filtre est utilisé pour éliminer de l'air d'une salle …Plus le résonateur est petit et léger, plus une infime variation de masse modifie fortement la fréquence ; avec des poutres nanométriques, on détecte des masses proches de celle d’une seule molécule.
Quelle description est correcte pour la méthode de détectio…La MBE fait croître des cristaux en chauffant les matériaux sources dans une enceinte sous ultravide d'environ 10⁻⁸ Pa et en les projetant sur le substrat sous forme de jets de molécules (ou d'atomes).
Quelle est la caractéristique de la MBE (épitaxie par jets …C'est une méthode propre à la MBE sous ultravide, où les électrons ne sont pas diffusés par les molécules de gaz.
Quelle technique de MBE observe in situ la croissance en di…Recuit Dose Contamination moléculaire aéroportée (AMC) Résine à amplification chimique MBE (épitaxie par jets moléculaires) CVD ALD Lithographie EUV Plasma FOUP