Conteneur étanche servant au transport et au stockage des plaquettes de 300 mm.
Nom japonais: FOUP
« FOUP » apparaît dans 17 questions d'entraînement réparties sur 6 thèmes, dont Salles blanches et équipements, Plaquettes de silicium, CMP et nettoyage.
Domaine: Salles blanches et équipements
Un FOUP (front opening unified pod) est un conteneur en plastique étanche contenant jusqu'à 25 plaquettes de 300 mm de diamètre dans des fentes, avec une porte frontale conçue pour être ouverte par les équipements. L'idée est celle d'un mini-environnement : les plaquettes ne sont exposées qu'à l'intérieur du FOUP et des outils, si bien que la propreté extrême n'est nécessaire que dans ces petits volumes et non dans toute la fab. Les dimensions, le mécanisme de porte et les éléments de fixation sont normalisés ; un FOUP s'adapte donc aux outils de n'importe quel fournisseur. Une boîte d'expédition à ouverture frontale apparentée (FOSB) sert à expédier les plaquettes entre entreprises.
Une plaquette de 300 mm de 775 µm d'épaisseur pèse environ 128 g (π × (15 cm)^2 × 0,0775 cm × 2,33 g/cm^3), contre environ 53 g pour une plaquette de 200 mm. Un FOUP chargé pèse au total environ 8 kg, trop lourd et trop précieux pour être porté à la main toute la journée sans risque de chute et de particules. Les fabs utilisent donc un système automatisé de manutention des matériaux (AMHS) dont le cœur est le transport par palan aérien (OHT) : des véhicules circulant sur des rails au plafond soulèvent les FOUP et les déposent sur les ports de chargement des outils, ce qui libère de la surface au sol. Les grandes fabs font circuler des centaines de véhicules, voire davantage.
À chaque outil, le FOUP est posé sur un port de chargement faisant partie de l'EFEM (equipment front end module). Le port de chargement déverrouille et retire la porte, et un robot transfère les plaquettes entre le FOUP et la chambre de procédé, le tout dans un espace maintenu propre par une unité de filtration à ventilateur (FFU). Les plaquettes ne rencontrent donc jamais l'air de la salle entre les étapes. À la fin du traitement, les plaquettes retournent dans le FOUP, la porte se referme, et l'OHT emporte le conteneur vers l'outil suivant ou vers un stockeur.
L'air enfermé dans un FOUP contient encore de l'oxygène et de l'humidité, qui peuvent oxyder la surface des plaquettes et déposer une contamination moléculaire pendant que les lots attendent entre les étapes. Purger les FOUP à l'azote réduit les deux et empêche aussi les gaz dégagés par les plaquettes fraîchement gravées de s'accumuler et de contaminer les autres, une préoccupation qui croît dans les procédés avancés. À l'ère du 200 mm, le conteneur SMIF (standard mechanical interface) remplissait la même fonction de mini-environnement : un conteneur étanche entourant une cassette séparée, qui s'ouvrait par le bas dans l'outil. Le FOUP a réuni cassette et conteneur en une seule boîte à ouverture frontale.
Réponse : C. Un conteneur qui transporte et stocke des plaquettes de 300 mm dans un environnement fermé
Le FOUP (Front Opening Unified Pod) est un conteneur à ouverture frontale qui transporte et stocke en milieu fermé jusqu'à 25 plaquettes de 300 mm ; chargé, il pèse environ 8 kg. Les plaquettes n'étant maintenues propres qu'à l'intérieur du FOUP et des équipements, la contamination est évitée sans rendre toute l'usine ultra-propre. Ses dimensions et son mode d'ouverture étant normalisés, il se place directement sur les équipements de tout fabricant et est transporté automatiquement, par exemple par convoyeur aérien.
Réponse : C. OHT (véhicule de transport aérien automatisé)
Un FOUP contenant 25 plaquettes de 300 mm pèse environ 8 kg ; le transport manuel est pénible et comporte des risques d'émission de particules et de chute. L'OHT est un véhicule circulant sur des rails au plafond qui transporte automatiquement le FOUP suspendu jusqu'au port de chargement des équipements, libérant l'espace au sol pour le travail et les équipements. C'est l'élément central du système de manutention automatisé (AMHS) de l'usine, et les grandes usines en comptent plusieurs centaines ou plus.
Front opening unified pod : un conteneur étanche à ouverture frontale qui transporte et stocke jusqu'à 25 plaquettes de 300 mm de diamètre entre les outils.
Environ 8 kg avec 25 plaquettes de 300 mm, chaque plaquette pesant environ 128 g ; c'est pourquoi les fabs déplacent les FOUP par transport aérien à palan (OHT).
Un conteneur SMIF, utilisé principalement avec les plaquettes de 200 mm, renferme une cassette séparée et s'ouvre par le bas. Un FOUP intègre la cassette dans le conteneur et s'ouvre par l'avant.
Le FOUP (Front Opening Unified Pod) est un conteneur à ouverture frontale qui transporte et stocke en milieu fermé jusqu'à 25 plaquettes de 300 mm ; chargé, il pèse environ 8 kg.
Quelle définition du FOUP est correcte ?Un FOUP contenant 25 plaquettes de 300 mm pèse environ 8 kg ; le transport manuel est pénible et comporte des risques d'émission de particules et de chute.
Dans une usine de plaquettes de 300 mm, quel système transp…L'EFEM (Equipment Front End Module) regroupe, dans un espace maintenu propre par des FFU, les ports de chargement où l'on pose les FOUP, le mécanisme d'ouverture des couvercles et le robot qui sort les plaquettes et les achemine dans l'équipement.
Quelle unité, à l'avant d'un équipement de fabrication, ouv…Si le FOUP contient de l'air, la surface des plaquettes s'oxyde et se charge d'humidité et de contaminants moléculaires pendant les attentes entre étapes.
Quel est le principal objectif de la substitution (purge) d…Le stockeur est un entrepôt automatique doté d'étagères où un robot range et sort les FOUP ; il stocke temporairement ceux qui attendent qu'un équipement se libère.
Dans le système de transport automatisé d'une usine de semi…OHT (transport aérien automatisé) Mini-environnement EFEM MOL (middle-of-line) RIE (gravure ionique réactive) FFU (unité de filtration ventilée) Filtre ULPA Lingot Sous-oxygénation (anoxie) Phosphine (PH3)