Implantation ionique
Pourquoi implante-t-on parfois des ions BF2⁺ plutôt que du bore seul pour réaliser une couche p peu profonde ?
- AParce que BF2⁺ agit comme impureté de type n
- BParce que BF2⁺ permet un équipement moins coûteux
- CParce que, étant un ion moléculaire lourd, le bore pénètre moins profondément à énergie d'accélération égale
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Réponse : C. Parce que, étant un ion moléculaire lourd, le bore pénètre moins profondément à énergie d'accélération égale
Le bore, de masse 11, est léger et pénètre facilement en profondeur même à faible énergie. Implanté sous forme de BF2⁺ (masse 49), lorsque la molécule se brise lors d'une collision, seuls 11/49 (environ 22 %) de l'énergie totale reviennent à l'atome de bore, ce qui permet une implantation superficielle. Un faisceau d'énergie extrêmement faible s'étale sous l'effet de la charge d'espace et fournit difficilement du courant, d'où le recours à cette méthode. Le fluor aide à l'amorphisation, mais entraîne aussi des effets secondaires comme la formation de bulles.