MOL(ミドル・オブ・ライン)란?
えむおーえる
トランジスタ(FEOL)と多層配線(BEOL)の間をつなぐ、コンタクトや局所的な配線の部分。微細化で抵抗が大きくなり、性能を制限する要因になっている。
일본어 명칭: MOL(ミドル・オブ・ライン)
분야: 배선 공정
관련 용어
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ Low-k材料 RC遅延 エアギャップ クロストーク コンタクト シード層
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トランジスタ(FEOL)と多層配線(BEOL)の間をつなぐ、コンタクトや局所的な配線の部分。微細化で抵抗が大きくなり、性能を制限する要因になっている。
일본어 명칭: MOL(ミドル・オブ・ライン)
분야: 배선 공정
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ Low-k材料 RC遅延 エアギャップ クロストーク コンタクト シード層