MEMS et capteurs

Quelle description est correcte pour la méthode de détection de masses infimes qui exploite la variation de fréquence de résonance d’une micropoutre ou d’un résonateur à quartz lorsqu’une substance se dépose à sa surface ?

  1. ALa fréquence de résonance augmente lorsque la masse déposée augmente
  2. BLa fréquence de résonance diminue lorsque la masse déposée augmente, et la masse se déduit de cette variation
  3. CLa fréquence de résonance ne dépend pas de la masse
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Réponse : B. La fréquence de résonance diminue lorsque la masse déposée augmente, et la masse se déduit de cette variation

La fréquence de résonance étant proportionnelle à √(k/m), elle diminue lorsqu’un dépôt augmente la masse m ; pour de petites variations, Δf/f ≈ −Δm/(2m). Plus le résonateur est petit et léger, plus une infime variation de masse modifie fortement la fréquence ; avec des poutres nanométriques, on détecte des masses proches de celle d’une seule molécule. La microbalance à quartz (QCM) est largement utilisée comme moniteur d’épaisseur dans les équipements de dépôt et appliquée aux capteurs de gaz et de biomolécules.

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