Was ist MOL (Middle of Line)?

Die Kontakte und lokalen Verbindungen, die Transistoren (FEOL) mit der mehrlagigen Verdrahtung (BEOL) verbinden. Mit der Skalierung ist ihr Widerstand gestiegen und begrenzt inzwischen die Leistung.

Japanische Bezeichnung: MOL(ミドル・オブ・ライン)

Fachgebiet: Verdrahtungsprozesse

Verwandte Begriffe

Barrieremetall (Diffusionsbarriere) Black'sche Gleichung Damascene-Verfahren Dual-Damascene-Verfahren IR-Drop (Spannungsabfall) Keimschicht (Seed Layer) Low-k-Material Luftspalt (Air Gap) Mehrlagenverdrahtung Passivierungsschicht

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