Deel met contacten en lokale bedrading dat transistors (FEOL) en meerlaagse bedrading (BEOL) verbindt. Door schaalverkleining neemt de weerstand toe, wat de prestaties beperkt.
Japanse benaming: MOL(ミドル・オブ・ライン)
“MOL (middle of line)” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Interconnectprocessen.
Vakgebied: Interconnectprocessen
Antwoord: B. MOL (middle of line)
De processen en structuren die tussen het deel waar de transistors worden gemaakt (FEOL) en het deel waar de meerlaagse bedrading wordt gemaakt (BEOL) liggen, zoals contacten naar source, drain en gate en lokale verbindingen, heten MOL (Middle of Line). Doordat de weerstand van contacten met een diameter van enkele tientallen nm door schaalverkleining sterk is toegenomen en de transistorprestaties sterk beïnvloedt, worden verbeteringen doorgevoerd, zoals de invoering van kobalt en ruthenium en contacten op de gate.
De processen en structuren die tussen het deel waar de transistors worden gemaakt (FEOL) en het deel waar de meerlaagse bedrading wordt gemaakt (BEOL) liggen, zoals contacten naar source, drain en gate en lokale verbindingen, heten MOL (Middle of Line).
Welke term wordt gebruikt voor het deel van contacten en lo…Meerlaagse bedrading Air gap Backside power delivery Barrièremetaal (barrier metal) Contact Crosstalk Damascene-proces Dual-damascene IR-drop Low-k-materiaal