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Implantation ionique

Dans un implanteur ionique, quelle est l'énergie d'un ion doublement chargé (charge double) accéléré sous une tension de 50 kV ?

  1. A100 keV
  2. B25 keV
  3. C50 keV
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Réponse : A. 100 keV

L'énergie acquise par un ion vaut « charge × tension d'accélération » : 50 keV pour un ion monochargé, 100 keV pour un ion doublement chargé et 150 keV pour un ion triplement chargé. Cette propriété permet d'implanter à des énergies supérieures à la tension maximale de l'équipement, par exemple pour former des caissons profonds. Cependant, les ions multichargés sont peu produits par la source et le courant de faisceau est faible, ce qui les rend inadaptés aux fortes doses. À l'inverse, les ions moléculaires servent à abaisser l'énergie.

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