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Dépôt (CVD et PVD)

En ALD, comment appelle-t-on la plage de températures dans laquelle l'épaisseur par cycle est constante grâce aux réactions de surface autolimitées ?

  1. ATempérature de transition vitreuse
  2. BFenêtre ALD
  3. CMarge de procédé
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Réponse : B. Fenêtre ALD

En ALD, une température trop basse provoque la condensation des précurseurs ou une réaction incomplète, et une température trop élevée leur décomposition thermique, d'où une croissance de type CVD, ou la désorption des molécules adsorbées. La plage intermédiaire où l'épaisseur par cycle est quasiment constante est la fenêtre ALD ; pour l'Al2O3 obtenu à partir de TMA (triméthylaluminium) et d'eau, elle est large, environ 150 à 300 ℃. Déposer dans cette plage rend le procédé robuste aux variations de température et très reproductible.

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