MOL(ミドル・オブ・ライン)とは
えむおーえる
トランジスタ(FEOL)と多層配線(BEOL)の間をつなぐ、コンタクトや局所的な配線の部分。微細化で抵抗が大きくなり、性能を制限する要因になっている。
この用語の分野: 配線プロセス
解説の中の「MOL(ミドル・オブ・ライン)」
トランジスタをつくる部分(FEOL)と多層配線をつくる部分(BEOL)の中間にある、ソース・ドレインやゲートへのコンタクト、局所的な接続などの工程・構造をMOL(Middle of Line)と呼びます。
トランジスタ(FEOL側)と多層配線をつなぐ、コンタクトや局所的な配線の部分を指して使われる言葉はどれか。
「MOL(ミドル・オブ・ライン)」が出てくる問題(1問)
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