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Implantation ionique

Dans un implanteur ionique, quelle partie sélectionne uniquement l'espèce ionique visée à l'aide d'un champ magnétique ?

  1. ALa source d'ions
  2. BLa station terminale (chambre de traitement des wafers)
  3. CL'analyseur de masse
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Réponse : C. L'analyseur de masse

La source d'ions génère aussi des ions non désirés et des ions moléculaires (par exemple B⁺, BF⁺, BF2⁺ à partir de BF3) ; l'analyseur de masse courbe donc la trajectoire des ions par un champ magnétique. La courbure dépendant du rapport masse sur charge, seuls les ions visés passent par la fente de sortie. Un autre élément de même masse constituerait une contamination, ce qui demande de la vigilance. Les ions sélectionnés sont ensuite accélérés, balayés et implantés dans le wafer.

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