什麼是施體
對半導體提供電子的雜質。對矽而言,是磷(P)、砷(As)等 V 族元素,用來形成 n 型半導體。
日文名稱: ドナー
「施體」出現在1領域的2道練習題中(矽晶圓等)。
這個名詞所屬的領域: 半導體物性
對半導體提供電子的雜質。對矽而言,是磷(P)、砷(As)等 V 族元素,用來形成 n 型半導體。
日文名稱: ドナー
「施體」出現在1領域的2道練習題中(矽晶圓等)。
這個名詞所屬的領域: 半導體物性
將含有間隙氧的CZ矽在350〜500 ℃進行熱處理,會形成由數個氧原子聚集而成的集合體,作為釋放電子的施體發揮作用(熱施體,thermal donor)。
將CZ矽在450℃附近熱處理時,氧原子會聚集並作為施體作用,使晶圓的電阻率改變。這稱為什麼?添加量極微,作為施體的影響幾乎不成問題。
在CZ晶體成長中微量添加氮(氮摻雜),其已知的效果是哪一項?