磊晶成長

在GaN HEMT用的磊晶結構中,於通道下方的GaN緩衝層添加碳或鐵,其主要目的為下列何者?

  1. A使其發光
  2. B使緩衝層成為高電阻,抑制關閉時的漏電流與短通道效應
  3. C使緩衝層成為低電阻,讓電流容易流通
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正確答案:B. 使緩衝層成為高電阻,抑制關閉時的漏電流與短通道效應

GaN會因成長中非刻意納入的氧或矽等施體而容易成為n型,若電流流過緩衝層,閘極就不易截止電流,高電壓下漏電也會增加。添加碳或鐵,以深能階捕捉電子,使緩衝層成為高電阻。不過在被捕捉的電荷釋放之前,2DEG會減少,使電流暫時下降,這也是電流崩塌的原因,因此添加量與位置的調整很重要。

  • A. 目的不是使其發光。
  • B. 正確。使其高電阻化以抑制漏電。
  • C. 目的正好相反,是使緩衝層成為高電阻。
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