離子佈植
關於佈植到矽中的雜質與導電型的搭配,下列何者正確?
- A磷:p型,砷:p型
- B硼:n型,磷:p型
- C硼:p型,磷、砷:n型
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正確答案:C. 硼:p型,磷、砷:n型
III族的硼作為受體形成p型,V族的磷或砷作為施體形成n型。此外,n型也會使用銻,p型有時也會使用銦或鎵。離子佈植是將這些元素以所需的量打入目標位置,nMOS形成n型的源極、汲極與p型井區,pMOS則形成相反的結構,藉此構成CMOS。
- A. 磷與砷都形成n型。
- B. 硼與磷的導電型相反了。
- C. 正確。硼為p型,磷、砷為n型。