矽晶圓
在CZ晶體成長中微量添加氮(氮摻雜)，其已知的效果是哪一項？
- A促進氧的析出，並使進入晶體的空位集合體(空洞)變小
- B晶體的直徑會自動變大
- C晶體變成高濃度的n型
查看答案與解析
正確答案：A. 促進氧的析出，並使進入晶體的空位集合體(空洞)變小
添加10¹³〜10¹⁵ cm⁻³左右的微量氮時，氧析出的核容易形成而提高吸附能力，且由空位聚集而成的空洞缺陷(COP)會變小，在之後的熱處理中更容易消除。它也具有固定差排而使晶圓更堅固的效果。添加量極微，作為施體的影響幾乎不成問題。用於退火晶圓等。
- A. 正確。促進氧析出，並使空洞變小。
- B. 直徑是由拉晶條件決定的。
- C. 由於添加量微小，對導電型與電阻率幾乎沒有影響。