SIMS(二次イオン質量分析法)とは
にじいおんしつりょうぶんせきほう
一次イオンで試料を削りながら二次イオンを質量分析し、不純物の深さ方向の分布を高感度に測定する方法。
この用語の分野: 計測・分析
解説の中の「SIMS(二次イオン質量分析法)」
SIMSは、一次イオンを照射して試料表面を少しずつスパッタし、放出された二次イオンを質量分析します。
SIMS(二次イオン質量分析法)の説明として正しいものはどれか。SIMSは活性化していない不純物も含めた原子の濃度を測るため、両者を比べると不純物の活性化の状態がわかります。
SIMSが不純物の原子の濃度を測るのに対して、電気的に活性なキャリアの濃度の深さ方向分布を測る方法として正しいものはど…
「SIMS(二次イオン質量分析法)」が出てくる問題(2問)
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