TEM(透過電子顕微鏡)とは
てぃーいーえむ
薄くした試料に電子線を透過させて観察する顕微鏡。原子レベルの分解能で、断面の構造や結晶の欠陥を調べられる。
この用語の分野: 計測・分析
解説の中の「TEM(透過電子顕微鏡)」
TEMは試料を透過した電子で像をつくるため、試料を非常に薄くする必要があります。
透過電子顕微鏡(TEM)で試料を観察するために必要な前処理として正しいものはどれか。STEM(走査型透過電子顕微鏡)では、細い電子線を試料上で走査します。
TEMで、細く絞った電子線を走査しながら、透過した電子のエネルギーの損失を測って元素や化学状態の分布を調べる手法はどれ…TEM用の薄片試料の作製、不良箇所の断面観察、試作チップの配線の修正などに使われます。
集束イオンビーム(FIB)装置の主な用途はどれか。
「TEM(透過電子顕微鏡)」が出てくる問題(6問)
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