XRD(X線回折)とは

えっくすあーるでぃー

結晶にX線を当て、回折したX線の角度と強さから、結晶構造や格子定数、膜のひずみや結晶の品質を調べる分析法。

この用語の分野: 計測・分析

解説の中の「XRD(X線回折)」

「XRD(X線回折)」が出てくる問題(2問)

  1. エピタキシャル層の結晶の品質を評価するX線回折のロッキングカーブで、ピークの半値幅が狭いことは何を意味するか。
  2. X線回折(XRD)で主に評価できるものはどれか。

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