XRD(X線回折)とは
えっくすあーるでぃー
結晶にX線を当て、回折したX線の角度と強さから、結晶構造や格子定数、膜のひずみや結晶の品質を調べる分析法。
この用語の分野: 計測・分析
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結晶にX線を当て、回折したX線の角度と強さから、結晶構造や格子定数、膜のひずみや結晶の品質を調べる分析法。
この用語の分野: 計測・分析
XRDは、X線が結晶の原子面で回折される角度から、結晶構造や格子定数を調べる方法です。
X線回折(XRD)で主に評価できるものはどれか。GaN(窒化ガリウム) EDX(エネルギー分散型X線分光) AFM(原子間力顕微鏡) XPS(X線光電子分光法) FIB(集束イオンビーム) エリプソメトリ 欠陥検査装置 CD-SEM SEM(走査電子顕微鏡) TEM(透過電子顕微鏡)