SEMやTEMと組み合わせて使われるEDX(エネルギー分散型X線分光)で分かることはどれか。

正解：B. 試料に含まれる元素の種類と量

電子線を試料に当てると、元素ごとに固有のエネルギーをもった特性X線が出ます。EDXはそのエネルギーを分析して、試料に含まれる元素の種類と量を調べます。電子顕微鏡で観察した場所の組成を調べられるため、異物や不良箇所の分析に広く使われます。