什麼是SIMS(二次離子質譜法)
以一次離子濺蝕試樣，同時對二次離子進行質量分析，高靈敏度地測量雜質在深度方向分佈的方法。
日文名稱: SIMS(二次イオン質量分析法)
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
相關名詞
四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) TEM(穿透式電子顯微鏡) TXRF(全反射X射線螢光分析)
以一次離子濺蝕試樣，同時對二次離子進行質量分析，高靈敏度地測量雜質在深度方向分佈的方法。
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