XPS(X線光電子分光法)とは
えっくすぴーえす
X線を照射して放出される光電子のエネルギーから、表面の数nmに含まれる元素と、その化学結合の状態を調べる分析法。
この用語の分野: 計測・分析
えっくすぴーえす
X線を照射して放出される光電子のエネルギーから、表面の数nmに含まれる元素と、その化学結合の状態を調べる分析法。
この用語の分野: 計測・分析
XPSは、X線を当てて表面から飛び出す光電子のエネルギーを測り、元素の種類と、酸化しているかなどの化学結合状態を調べる方法です。
X線を照射して放出される光電子のエネルギーから、表面の元素と化学結合状態を調べる分析法はどれか。EDX(エネルギー分散型X線分光) AFM(原子間力顕微鏡) XRD(X線回折) FIB(集束イオンビーム) エリプソメトリ 欠陥検査装置 CD-SEM SEM(走査電子顕微鏡) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)