AFM(原子間力顕微鏡)とは
えーえふえむ
鋭い探針で試料の表面をなぞり、探針と表面の間に働く力から表面の微細な凹凸を測る顕微鏡。表面の粗さの評価などに使われる。
この用語の分野: 計測・分析
解説の中の「AFM(原子間力顕微鏡)」
AFMは、先端の鋭い探針を試料表面に近づけ、探針と表面の間にはたらく原子間力によるたわみを検出しながら走査して、表面の凹凸を測定します。
原子間力顕微鏡(AFM)で主に測定するものはどれか。AFMは探針で表面をなぞって形を測るため、探針の先端より細い溝の底には届かず、急な側壁では探針の側面が先に当たります。
AFMで、非常に細い溝や急な側壁の形を測るときに誤差の原因になりやすいことはどれか。AFMより測定範囲が広く、ミリメートル単位の走査もできます。
細い針で試料の表面をなぞり、針の上下の動きから段差の高さや表面の形を測る装置はどれか。
「AFM(原子間力顕微鏡)」が出てくる問題(4問)
関連する用語
CMP CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) XRD(X線回折) XPS(X線光電子分光法) FIB(集束イオンビーム) エリプソメトリ 欠陥検査装置 SEM(走査電子顕微鏡) TEM(透過電子顕微鏡)