計測・分析

原子間力顕微鏡(AFM)で主に測定するものはどれか。

  1. Aシート抵抗
  2. B不純物濃度の深さ方向の分布
  3. C表面の微細な凹凸(形状や粗さ)
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正解：C. 表面の微細な凹凸(形状や粗さ)

AFMは、先端の鋭い探針を試料表面に近づけ、探針と表面の間にはたらく原子間力によるたわみを検出しながら走査して、表面の凹凸を測定します。原子レベルの高さの違いも測れるため、CMP後の表面粗さの評価などに使われます。

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