ウエハの反り(ボウ・ワープ)や平坦度の測定に使われる方法として正しいものはどれか。

正解：A. 光の干渉計や静電容量センサによる非接触の形状測定

ウエハの形状は、光の干渉を利用した測定器や、ウエハの両面の距離を静電容量で測るセンサなどで、ウエハに触れずに測定します。反りや平坦度は露光の焦点やウエハの搬送・吸着に影響するため、ウエハの受け入れ検査や成膜後の評価などで管理されます。