計測・分析

X線を非常に浅い角度で入射させ、反射率の振動から薄膜の厚さや密度を求める手法はどれか。

  1. ASIMS
  2. BX線反射率法(XRR)
  3. C4探針法
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正解：B. X線反射率法(XRR)

XRRでは、X線を浅い角度で入射させたときの反射率を角度を変えながら測ります。膜の表面と界面で反射したX線が干渉して反射率が振動するため、その周期から膜厚を、全反射が起こる角度から膜の密度を求められます。数nmの極薄膜の評価に使われます。

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