周期的なパターンに光を当て、反射・回折光のスペクトルをモデルと比較して、線幅や断面形状を求める計測を何と呼ぶか。

正解：B. スキャッタロメトリ(光学式CD計測、OCD)

スキャッタロメトリは、テスト用の周期パターンからの反射・回折光のスペクトルを測り、形状をモデル化して計算したスペクトルと照合することで、線幅、高さ、側壁角などを求めます。非破壊で高速に測定できるため、量産ラインでの寸法管理に使われています。