SIMS(二次イオン質量分析法)란?
にじいおんしつりょうぶんせきほう
一次イオンで試料を削りながら二次イオンを質量分析し、不純物の深さ方向の分布を高感度に測定する方法。
일본어 명칭: SIMS(二次イオン質量分析法)
분야: 계측과 분석
관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)
にじいおんしつりょうぶんせきほう
一次イオンで試料を削りながら二次イオンを質量分析し、不純物の深さ方向の分布を高感度に測定する方法。
일본어 명칭: SIMS(二次イオン質量分析法)
분야: 계측과 분석
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)