EDX(エネルギー分散型X線分光)とは
いーでぃーえっくす
電子線を当てたときに試料から出る特性X線のエネルギーを測り、含まれる元素の種類と量を調べる分析法。SEMやTEMと組み合わせて使う。
この用語の分野: 計測・分析
いーでぃーえっくす
電子線を当てたときに試料から出る特性X線のエネルギーを測り、含まれる元素の種類と量を調べる分析法。SEMやTEMと組み合わせて使う。
この用語の分野: 計測・分析
EDXはそのエネルギーを分析して、試料に含まれる元素の種類と量を調べます。
SEMやTEMと組み合わせて使われるEDX(エネルギー分散型X線分光)で分かることはどれか。SEM(走査電子顕微鏡) TEM(透過電子顕微鏡) AFM(原子間力顕微鏡) XRD(X線回折) XPS(X線光電子分光法) FIB(集束イオンビーム) エリプソメトリ 欠陥検査装置 CD-SEM TXRF(全反射蛍光X線分析)