計測・分析

SIMSが不純物の原子の濃度を測るのに対して、電気的に活性なキャリアの濃度の深さ方向分布を測る方法として正しいものはどれか。

  1. AEDX
  2. B原子間力顕微鏡(AFM)
  3. C拡がり抵抗測定(SRP)などの電気的な測定
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正解：C. 拡がり抵抗測定(SRP)などの電気的な測定

拡がり抵抗測定は、試料を斜めに研磨して深さ方向を広げ、探針を当てて抵抗を測っていくことで、キャリア濃度の深さ方向の分布を求める方法です。SIMSは活性化していない不純物も含めた原子の濃度を測るため、両者を比べると不純物の活性化の状態がわかります。

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