計測・分析

ウエハのキャリアのライフタイムを非接触で測定し、金属汚染などを評価する方法はどれか。

  1. Aマイクロ波光導電減衰法(μ-PCD)
  2. BSIMS
  3. CXRD
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正解：A. マイクロ波光導電減衰法(μ-PCD)

μ-PCDでは、ウエハに光パルスを当ててキャリアを発生させ、それが再結合して減っていく様子を、マイクロ波の反射の変化から測定します。金属汚染があるとライフタイムが短くなるため、熱処理炉などの汚染の監視に使われます。

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