SIMS(二次イオン質量分析法)の説明として正しいものはどれか。

正解：C. 一次イオンで試料を削りながら、出てくる二次イオンを質量分析し、不純物の深さ方向の分布を調べる

SIMSは、一次イオンを照射して試料表面を少しずつスパッタし、放出された二次イオンを質量分析します。削りながら測定を続けることで、不純物濃度の深さ方向の分布(プロファイル)を高い感度で測定できます。イオン注入や拡散の評価によく使われますが、試料を削るため破壊分析です。