四探針法とは
よんたんしんほう
一直線に並べた4本の針の外側2本に電流を流し、内側2本の電圧を測って、ウエハや薄膜のシート抵抗を求める方法。
この用語の分野: 計測・分析
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EDX(エネルギー分散型X線分光) AFM(原子間力顕微鏡) XRD(X線回折) XPS(X線光電子分光法) FIB(集束イオンビーム) エリプソメトリ 欠陥検査装置 CD-SEM SEM(走査電子顕微鏡) TEM(透過電子顕微鏡)
よんたんしんほう
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