SEM(走査電子顕微鏡)とは

解説の中の「SEM(走査電子顕微鏡)」

• SEMは、電子線を試料の表面で走査し、そこから出る二次電子や反射電子を検出して像をつくります。

  走査電子顕微鏡(SEM)の原理として正しいものはどれか。

• 自動欠陥分類(ADC:Automatic Defect Classification)は、レビューSEMの画像から、異物、パターン欠陥、スクラッチなどに自動で分類し、原因の特定を早めます。

  検査で見つかった欠陥をSEMで撮影し、その画像から欠陥の種類を自動で分類する機能はどれか。

• 検出した欠陥はSEMで詳しく観察して分類(レビュー)します。

  ウエハ上の異物やパターン欠陥を検出する欠陥検査装置で使われる代表的な原理はどれか。

「SEM(走査電子顕微鏡)」が出てくる問題(8問)

1. 走査電子顕微鏡(SEM)の原理として正しいものはどれか。
2. SEMやTEMと組み合わせて使われるEDX(エネルギー分散型X線分光)で分かることはどれか。
3. SEMで絶縁物の試料を観察するときに、帯電(チャージアップ)を防ぐための方法として正しいものはどれか。
4. 検査で見つかった欠陥をSEMで撮影し、その画像から欠陥の種類を自動で分類する機能はどれか。
5. ウエハ上の異物やパターン欠陥を検出する欠陥検査装置で使われる代表的な原理はどれか。
6. 光学顕微鏡で、数十nmの微細なパターンを直接観察できない主な理由はどれか。
7. 深い穴の形状などを、断面を壊さずに3次元的に測る技術として研究・導入が進められているものはどれか。
8. 断面の形をくわしく調べるために、ウエハを割ったり削ったりしてから観察する方法の特徴として正しいものはどれか。

関連する用語

TEM(透過電子顕微鏡) 欠陥検査装置 CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) 3D NAND FIB(集束イオンビーム) AFM(原子間力顕微鏡) XRD(X線回折) XPS(X線光電子分光法) エリプソメトリ