GAA(ゲートオールアラウンド)とは
じーえーえー
チャネルの周囲を全方向からゲートで囲むトランジスタ構造。FinFETより電流の制御性が高く、FinFETの次の世代で使われる。
この用語の分野: 先端トランジスタ(FinFET・GAA)
じーえーえー
チャネルの周囲を全方向からゲートで囲むトランジスタ構造。FinFETより電流の制御性が高く、FinFETの次の世代で使われる。
この用語の分野: 先端トランジスタ(FinFET・GAA)
GAA型は、厚さ数nmの薄いシート状(ナノシート)や細線状のチャネルを数枚積み重ね、その全周をゲートで囲む構造です。
GAA(ゲートオールアラウンド)型トランジスタの説明として正しいものはどれか。FinFETではチャネル幅をフィンの本数でしか調整できませんが、ナノシート型GAAでは、積み重ねたシートの幅(例えば15〜50 nm)をレイアウトで連続的に変えられます。
FinFETと比べたときの、ナノシート型GAAトランジスタの設計上の利点として正しいものはどれか。ナノシート型GAAでは、SiとSiGe(Ge約25〜30%)を交互にエピタキシャル成長させた積層を加工し、ダミーゲートを除いたあと、SiGeだけを高い選択比でエッチングしてSiのシートを宙に浮かせます。
ナノシート型GAAトランジスタの製造で、SiとSiGeを交互に積み重ねた層からSiGe層だけを選択的に除去する理由とし…ナノシート FinFET SiGe(シリコンゲルマニウム) 短チャネル効果 移動度 CFET(相補型FET) CMOS ALD 空乏層 エピタキシャル成長