短チャネル効果とは
たんちゃねるこうか
ゲート長が短くなると、ドレインの電界の影響でしきい値電圧が下がったり、オフ時のリーク電流が増えたりする現象。
この用語の分野: MOSFET
たんちゃねるこうか
ゲート長が短くなると、ドレインの電界の影響でしきい値電圧が下がったり、オフ時のリーク電流が増えたりする現象。
この用語の分野: MOSFET
ゲート長がλの5〜10倍程度あれば短チャネル効果は小さく抑えられます。
短チャネル効果の強さを見積もるのに使われる「スケール長(ナチュラル長)λ」の説明として正しいものはどれか。膜厚を薄くすると容量が大きくなり、同じゲート電圧でチャネルに誘起される電荷が増え、駆動電流が増えて短チャネル効果も抑えられます。
ゲート絶縁膜の材料と面積を変えずに膜厚だけを薄くすると、単位面積あたりのゲート容量はどうなるか。現在は短チャネル効果の抑制も兼ねたエクステンション(高濃度の浅い接合)が主流です。
MOSFETのLDD(Lightly Doped Drain)構造の目的として正しいものはどれか。FinFET GAA(ゲートオールアラウンド) しきい値電圧 ナノシート 空乏層 DIBL 移動度 界面準位 LDD構造 ワード線