先端トランジスタ(FinFET・GAA)

FinFETでトランジスタの実効的なチャネル幅を調整する方法として正しいものはどれか。

  1. Aフィンの本数を変えて調整するため、チャネル幅はとびとびの値になる
  2. Bゲート電圧の大きさで調整する
  3. C平面型と同じように任意の連続した値に設定できる
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正解:A. フィンの本数を変えて調整するため、チャネル幅はとびとびの値になる

FinFETでは、フィンの高さや幅はプロセスで決まって一定なので、チャネル幅はフィンの本数で調整します。そのため、幅は「フィン何本分」というとびとびの値になり、平面型のように自由に設定できないことが回路設計上の制約になります。

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