先端トランジスタ(FinFET・GAA)

ナノシート型GAAで、各シートの間のゲートとソース・ドレインの間に設ける絶縁物(インナースペーサー)の主な役割はどれか。

  1. Aゲートとソース・ドレインの間の寄生容量を減らし、短絡を防ぐ
  2. Bチャネルを発光させる
  3. C電流を増幅する
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正解:A. ゲートとソース・ドレインの間の寄生容量を減らし、短絡を防ぐ

ナノシート型GAAでは、シートの間のすき間にゲートが入り込み、ソース・ドレインと近接します。インナースペーサーは、その間に挟む絶縁物で、ゲートとソース・ドレインの間の寄生容量を小さくし、電気的な短絡を防ぎます。

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