先端トランジスタ(FinFET・GAA)
ナノシート型GAAトランジスタの「ナノシート」が指すものとして正しいものはどれか。
- Aチップを保護するシート状のフィルム
- B厚さ数nmの薄い板状のシリコンチャネルで、上下に積み重ねて使う
- Cゲート絶縁膜に使う薄い金属の板
答えと解説を見る
正解：B. 厚さ数nmの薄い板状のシリコンチャネルで、上下に積み重ねて使う
ナノシートは、厚さ数nm、幅数十nmほどの薄い板状のシリコンのチャネルです。これを数枚上下に積み重ね、それぞれをゲートが全周から囲みます。FinFETのフィンを横に寝かせて積み重ねたような構造です。
- A. 保護用のフィルムではありません。
- B. 正しい。薄い板状のチャネルを積み重ねたものです。
- C. ゲート絶縁膜はHigh-kなどの絶縁物で、金属の板ではありません。