仕事関数とは
しごとかんすう
真空準位からフェルミ準位までのエネルギー差で、物質から電子を取り出すのに必要な最小のエネルギー。メタルゲートのしきい値電圧やショットキー障壁の高さを左右する。
この用語の分野: 半導体物性
解説の中の「仕事関数」
仕事関数は、フェルミ準位にある電子を真空中に取り出すのに必要なエネルギーで、真空準位とフェルミ準位の差です。
物質の仕事関数の定義として正しいものはどれか。一方、仕事関数はフェルミ準位から真空準位までの差で、不純物濃度で変わります。
半導体の真空準位から伝導帯の下端までのエネルギー差を何と呼ぶか。ただし高濃度にすると移動度が下がり、ばらつき(ドーパント数の揺らぎ)も増えるため、FinFETやGAAではチャネルをほぼ無ドープにして仕事関数でVthを決めています。
nMOSFETのチャネル領域(p型基板)の不純物濃度を高くすると、しきい値電圧はどうなるか。
「仕事関数」が出てくる問題(7問)
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