什麼是四點探針法
在排成一直線的4根探針中，對外側2根通電流，量測內側2根的電壓，以求出晶圓或薄膜片電阻的方法。
日文名稱: 四探針法
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
相關名詞
缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法) TEM(穿透式電子顯微鏡) TXRF(全反射X射線螢光分析)
在排成一直線的4根探針中，對外側2根通電流，量測內側2根的電壓，以求出晶圓或薄膜片電阻的方法。
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