什麼是AFM(原子力顯微鏡)
以尖銳的探針沿著試樣表面掃描，由探針與表面之間的作用力，量測表面細微起伏的顯微鏡。用於表面粗糙度的評估等。
日文名稱: AFM(原子間力顕微鏡)
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
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四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法) TEM(穿透式電子顯微鏡) TXRF(全反射X射線螢光分析)
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