什麼是監控晶圓
為確認設備狀態或量測膜厚、微粒等，與產品分開送入製程的晶圓。也稱為測試晶圓。使用後多半去除薄膜並重新研磨，作為再生晶圓再利用。
日文名稱: モニターウエハ
「監控晶圓」出現在1領域的2道練習題中（矽晶圓等）。
這個名詞所屬的領域: 矽晶圓
練習監控晶圓的題目
將使用過的監控晶圓表面的膜等去除，重新拋光後可再次使用的晶圓，稱為什麼？
- ASOI晶圓
- B再生晶圓
- C磊晶晶圓
查看答案與解析
正確答案：B. 再生晶圓
監控晶圓與假片晶圓(dummy wafer)在工廠中大量使用，所以使用後會以蝕刻或拋光去除表面的膜與汙染，再次做成鏡面後重複使用。這就是再生晶圓，比新品便宜，也能節省資源。一片可再生數次，每次都會稍微變薄。也有專門從事再生的公司，確實去除金屬汙染是品質的關鍵。
解析中的「監控晶圓」
監控晶圓與假片晶圓(dummy wafer)在工廠中大量使用，所以使用後會以蝕刻或拋光去除表面的膜與汙染，再次做成鏡面後重複使用。
將使用過的監控晶圓表面的膜等去除，重新拋光後可再次使用的晶圓，稱為什麼？監控晶圓是為了確認成膜的膜厚、微粒數量、蝕刻速率、汙染等，與產品分開投入製程的晶圓，用於設備啟用與定期保養時檢查設備狀態。
為了確認設備狀態或量測膜厚等，與產品分開投入製程的晶圓稱為什麼？
出現「監控晶圓」的題目（2題）
相關名詞
西門子法 吸附雜質技術(Gettering) 氧析出物(BMD) 偏析係數 晶格滑移 晶棒 晶圓缺口(Notch) 晶體方向 熱施體 頸縮(Necking)