什麼是XPS(X射線光電子能譜)
由照射X射線後放出的光電子能量，檢查表面數nm內所含的元素及其化學鍵結狀態的分析法。
日文名稱: XPS(X線光電子分光法)
「XPS(X射線光電子能譜)」出現在1領域的1道練習題中（量測與分析等）。
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
練習XPS(X射線光電子能譜)的題目
照射X光，由釋出的光電子能量來調查表面的元素與化學鍵結狀態的分析法是下列何者？
- A原子力顯微鏡（AFM）
- BXPS（X光光電子能譜術）
- C四探針法
解析中的「XPS(X射線光電子能譜)」
XPS是照射X光，量測由表面飛出的光電子之動能，再由此求得的束縛能來調查元素的種類與化學鍵結狀態的方法。
照射X光，由釋出的光電子能量來調查表面的元素與化學鍵結狀態的分析法是下列何者？
出現「XPS(X射線光電子能譜)」的題目（1題）
相關名詞
AFM(原子力顯微鏡) 四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法) TEM(穿透式電子顯微鏡)