什麼是TXRF(全反射X射線螢光分析)

使X射線以極小的掠射角照射晶圓表面而全反射，高靈敏度地量測表面微量金屬汙染所發出螢光X射線的分析法。

日文名稱: TXRF(全反射蛍光X線分析)

「TXRF(全反射X射線螢光分析)」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。

這個名詞所屬的領域: 量測與分析

練習TXRF(全反射X射線螢光分析)的題目

為了高靈敏度地分析晶圓表面的金屬汙染，以氫氟酸蒸氣溶解表面的氧化膜，並以液滴回收後送入分析設備的前處理方法是哪一種？

  1. A四探針法
  2. BSEM觀察
  3. CVPD(氣相分解)法
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正確答案：C. VPD(氣相分解)法

在VPD法中，以氫氟酸蒸氣分解晶圓表面的自然氧化膜，再以少量液滴在其上掃描，收集並回收表面的金屬雜質。將回收的液體以ICP-MS或全反射螢光X光(TXRF)分析，就能以10⁸〜10⁹ atoms/cm²左右的靈敏度量測整片晶圓的金屬汙染。這是監控設備與藥液汙染、評估清洗製程不可或缺的方法。

解析中的「TXRF(全反射X射線螢光分析)」

出現「TXRF(全反射X射線螢光分析)」的題目（1題）

  1. 為了高靈敏度地分析晶圓表面的金屬汙染，以氫氟酸蒸氣溶解表面的氧化膜，並以液滴回收後送入分析設備的前處理方法是哪一種？

相關名詞

ICP(感應耦合電漿) 四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法)

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