什麼是橢圓偏光術

照射偏振光，由反射造成的偏振狀態變化，求出薄膜厚度與折射率的量測方法。可進行非破壞性量測。

日文名稱: エリプソメトリ

「橢圓偏光術」出現在1領域的1道練習題中（氧化與擴散等）。

這個名詞所屬的領域: 量測與分析

練習橢圓偏光術的題目

矽上的氧化層會依厚度呈現各種顏色，其原因為何？

  1. A氧化層中所含雜質的顏色
  2. B氧化層表面與背面（與矽的介面）所反射之光的干涉
  3. C氧化層本身會發光
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正確答案：B. 氧化層表面與背面（與矽的介面）所反射之光的干涉

SiO2 本身是透明的，但在膜表面反射的光與在矽介面反射的光會產生干涉，依厚度不同，特定波長（顏色）會互相增強而被看見。例如約 100 nm 呈棕～紫色，約 300 nm 呈藍色，約 500 nm 呈綠色系，且相同的顏色會隨厚度週期性重複出現。由於看顏色就能大致得知膜厚，過去曾以顏色對照表來確認。精密量測則使用橢圓偏光術或光譜干涉。

解析中的「橢圓偏光術」

出現「橢圓偏光術」的題目（1題）

  1. 矽上的氧化層會依厚度呈現各種顏色，其原因為何？

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