使X光以非常淺的角度入射，由反射率的振盪求出薄膜厚度與密度的手法是下列何者？

正確答案：B. X光反射率法（XRR）

XRR是使X光以淺角度入射，一邊改變角度一邊量測反射率。由於膜表面與界面反射的X光會干涉而使反射率振盪，因此可由其週期求出膜厚，由發生全反射的臨界角求出膜的密度，由振盪的衰減求出界面的粗糙度。因為不需假設光學常數即可量測，適合評估數nm的極薄膜。SIMS與四探針法量測的是其他的量。