什麼是EDX(能量色散X射線光譜)
量測電子束照射時試樣放出的特徵X射線能量，檢查所含元素種類與含量的分析法。與SEM或TEM組合使用。
日文名稱: EDX(エネルギー分散型X線分光)
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
相關名詞
四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法) TEM(穿透式電子顯微鏡) TXRF(全反射X射線螢光分析)
量測電子束照射時試樣放出的特徵X射線能量，檢查所含元素種類與含量的分析法。與SEM或TEM組合使用。
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