四探針法란?
よんたんしんほう
一直線に並べた4本の針の外側2本に電流を流し、内側2本の電圧を測って、ウエハや薄膜のシート抵抗を求める方法。
일본어 명칭: 四探針法
분야: 계측과 분석
관련 용어
欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)
よんたんしんほう
一直線に並べた4本の針の外側2本に電流を流し、内側2本の電圧を測って、ウエハや薄膜のシート抵抗を求める方法。
일본어 명칭: 四探針法
분야: 계측과 분석
欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)