下列哪一項是用來以非接觸方式量測晶圓電阻率的方法？

正確答案：C. 利用渦電流的量測

施加交流磁場時，晶圓內會產生渦電流，其大小會隨導電率(片電阻)而改變。以線圈偵測它，就能在不接觸晶圓的情況下量測電阻率。與以探針接觸的四探針法不同，這種方法不會損傷表面，也沒有汙染，因此用於晶圓的進料檢驗，以及金屬膜厚度的量測(由片電阻換算)等。還能進行映射(mapping)，評估晶圓面內的分布。