量測與分析
照射X光，由釋出的光電子能量來調查表面的元素與化學鍵結狀態的分析法是下列何者？
- A原子力顯微鏡（AFM）
- BXPS（X光光電子能譜術）
- C四探針法
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正確答案：B. XPS（X光光電子能譜術）
XPS是照射X光，量測由表面飛出的光電子之動能，再由此求得的束縛能來調查元素的種類與化學鍵結狀態的方法。即使同樣是Si，單質約為99 eV、SiO2約為103 eV，數值有所偏移，因此可得知氧化的程度。光電子只能從數nm的深度逸出，所以適合評估薄膜、界面與表面處理。AFM量測形狀，四探針法量測電阻。